Nitrogen Trifluoride (NF3) Kesi mama maualuga
Fa'amatalaga Autu
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
O le a lenei mea?
Nitrogen trifluoride (NF3) o se kesi e leai se lanu ma e leai se manogi i le vevela o le potu ma le mamafa o le ea. E mafai ona liquefied i lalo o le mamafa mamafa. O le NF3 e mautu i lalo o tulaga masani ma e le mafai ona pala. Ae ui i lea, e mafai ona pala pe a faʻaalia i le maualuga o le vevela poʻo le i ai o ni mea faʻapitoa. O le NF3 e maualuga le malosi o le mafanafana o le lalolagi (GWP) pe a tuʻuina atu i le ea.
O fea e fa'aoga ai lenei mea?
Faʻamama faʻapolopolo i totonu o pisinisi faʻaeletonika: NF3 e faʻaaogaina lautele e avea o se mea faʻamama mo le aveeseina o mea faʻaleagaina, e pei o oxides, mai luga o le semiconductors, plasma faʻaaliga panels (PDPs), ma isi mea eletise. E mafai ona fa'amama lelei nei mea e aunoa ma le fa'aleagaina.
Etching gas i semiconductor fabrication: NF3 o loʻo faʻaaogaina e avea o se kesi etching i le gaosiga o gaosiga o semiconductor. E sili ona aoga i le togiina o le silicon dioxide (SiO2) ma le silicon nitride (Si3N4), o mea masani ia e faʻaaogaina i le fausiaina o fesoʻotaʻiga tuʻufaʻatasia.
Gaosiga o fa'aputugā fluorine maualuga-mama: NF3 ose fa'apogai taua o le fluorine mo le gaosiga o fa'aputuga eseese o lo'o i ai le fluorine. E fa'aaogaina e fai ma mea muamua i le gaosiga o fluoropolymers, fluorocarbons, ma vaila'au fa'apitoa.
Fa'atupuina o le Plasma i le fa'aaliga fa'aaliga fa'apitoa: O le NF3 o lo'o fa'aogaina fa'atasi ma isi kasa e fatu ai le plasma i le gaosiga o fa'aaliga fa'apipi'i, e pei o fa'aaliga tioata vai (LCDs) ma PDPs. Ole plasma e mana'omia ile fa'aputuina ma fa'agasolo ile fa'againa ole laulau.
Manatua o talosaga patino ma tulafono faatonutonu mo le faʻaogaina o lenei mea / oloa e mafai ona eseese i le atunuʻu, alamanuia ma faʻamoemoega. Mulimuli i taimi uma taʻiala saogalemu ma faʻafesoʻotaʻi se tagata poto faapitoa aʻo leʻi faʻaogaina lenei mea / oloa i soʻo se talosaga.
